La produzione di zolfo ultrapuro 6N (≥99,9999%) richiede distillazione multistadio, adsorbimento profondo e filtrazione ultra-pulita per eliminare tracce di metalli, impurità organiche e particolato. Di seguito è riportato un processo su scala industriale che integra distillazione sotto vuoto, purificazione assistita da microonde e tecnologie di post-trattamento di precisione.
I. Pretrattamento delle materie prime e rimozione delle impurità
1. Selezione e pretrattamento delle materie prime
- Requisiti: Purezza iniziale dello zolfo ≥99,9% (grado 3N), impurità metalliche totali ≤500 ppm, contenuto di carbonio organico ≤0,1%.
- Fusione assistita da microonde:
Lo zolfo grezzo viene trattato in un reattore a microonde (frequenza di 2,45 GHz, potenza di 10-15 kW) a 140-150 °C. La rotazione dipolare indotta dalle microonde garantisce una rapida fusione e al contempo la decomposizione delle impurità organiche (ad esempio, composti di catrame). Tempo di fusione: 30-45 minuti; profondità di penetrazione delle microonde: 10-15 cm. - Lavaggio con acqua deionizzata:
Lo zolfo fuso viene miscelato con acqua deionizzata (resistività ≥18 MΩ·cm) in un rapporto di massa di 1:0,3 in un reattore agitato (120 °C, pressione di 2 bar) per 1 ora per rimuovere i sali idrosolubili (ad esempio, solfato di ammonio, cloruro di sodio). La fase acquosa viene decantata e riutilizzata per 2-3 cicli fino a raggiungere una conduttività ≤5 μS/cm.
2. Adsorbimento e filtrazione multistadio
- Adsorbimento di terra di diatomee/carbone attivo:
Terra di diatomee (0,5-1%) e carbone attivo (0,2-0,5%) vengono aggiunti allo zolfo fuso sotto protezione di azoto (130°C, agitazione per 2 ore) per adsorbire complessi metallici e residui organici - Filtrazione ad altissima precisione:
Filtrazione a due stadi con filtri sinterizzati in titanio (diametro dei pori 0,1 μm) a una pressione di sistema ≤0,5 MPa. Conteggio delle particelle post-filtrazione: ≤10 particelle/L (diametro >0,5 μm).
II. Processo di distillazione sotto vuoto multistadio
1. Distillazione primaria (rimozione delle impurità metalliche)
- Attrezzatura: Colonna di distillazione al quarzo ad alta purezza con riempimento strutturato in acciaio inossidabile 316L (≥15 piatti teorici), vuoto ≤1 kPa.
- Parametri operativi:
- Temperatura di alimentazione: 250–280 °C (lo zolfo bolle a 444,6 °C a pressione ambiente; il vuoto riduce il punto di ebollizione a 260–300 °C).
- Rapporto di reflusso: 5:1–8:1; fluttuazione della temperatura della parte superiore della colonna ≤±0,5°C.
- Prodotto: Purezza dello zolfo condensato ≥99,99% (grado 4N), impurità metalliche totali (Fe, Cu, Ni) ≤1 ppm.
2. Distillazione molecolare secondaria (rimozione delle impurità organiche)
- Attrezzatura: Distillatore molecolare a percorso breve con intervallo di evaporazione-condensazione di 10–20 mm, temperatura di evaporazione 300–320 °C, vuoto ≤0,1 Pa.
- Separazione delle impurità:
Le sostanze organiche a basso punto di ebollizione (ad esempio tioeteri, tiofene) vengono vaporizzate ed evacuate, mentre le impurità ad alto punto di ebollizione (ad esempio poliaromatici) rimangono nei residui a causa delle differenze nel percorso libero molecolare. - Prodotto: Purezza dello zolfo ≥99,999% (grado 5N), carbonio organico ≤0,001%, tasso di residuo <0,3%.
3. Raffinazione nella zona terziaria (raggiungimento della purezza 6N)
- Attrezzatura: Raffinatore a zona orizzontale con controllo della temperatura multizona (±0,1°C), velocità di spostamento della zona 1–3 mm/h.
- Segregazione:
Utilizzando i coefficienti di segregazione (K=Csolido/CliquidoK=Csolido/Cliquido), la zona 20-30 passa attraverso i metalli concentrati (As, Sb) all'estremità del lingotto. Il restante 10-15% del lingotto di zolfo viene scartato.
III. Post-trattamento e formatura ultra-pulita
1. Estrazione con solvente ultra puro
- Estrazione di etere/tetracloruro di carbonio:
Lo zolfo viene miscelato con etere di grado cromatografico (rapporto in volume 1:0,5) sotto l'effetto di ultrasuoni (40 kHz, 40°C) per 30 minuti per rimuovere tracce di sostanze organiche polari. - Recupero solventi:
L'adsorbimento tramite setaccio molecolare e la distillazione sotto vuoto riducono i residui di solvente a ≤0,1 ppm.
2. Ultrafiltrazione e scambio ionico
- Ultrafiltrazione a membrana in PTFE:
Lo zolfo fuso viene filtrato attraverso membrane in PTFE da 0,02 μm a 160–180°C e a una pressione ≤0,2 MPa. - Resine a scambio ionico:
Le resine chelanti (ad esempio, Amberlite IRC-748) rimuovono gli ioni metallici a livello di ppb (Cu²⁺, Fe³⁺) a portate di 1–2 BV/h.
3. Formazione di un ambiente ultra-pulito
- Atomizzazione di gas inerte:
In una camera bianca di classe 10, lo zolfo fuso viene atomizzato con azoto (pressione 0,8-1,2 MPa) in granuli sferici da 0,5-1 mm (umidità <0,001%). - Confezionamento sottovuoto:
Il prodotto finale viene sigillato sotto vuoto in una pellicola composita di alluminio sotto argon ultrapuro (purezza ≥99,9999%) per prevenirne l'ossidazione.
IV. Parametri chiave del processo
Fase del processo | Temperatura (°C) | pressione | Tempo/Velocità | Attrezzatura di base |
Fusione a microonde | 140–150 | Ambiente | 30–45 minuti | Reattore a microonde |
Lavaggio con acqua deionizzata | 120 | 2 barre | 1 ora/ciclo | Reattore agitato |
Distillazione molecolare | 300–320 | ≤0,1 Pa | Continuo | Distillatore molecolare a percorso breve |
Raffinazione di zona | 115–120 | Ambiente | 1–3 mm/ora | Raffinatore di zona orizzontale |
Ultrafiltrazione PTFE | 160–180 | ≤0,2 MPa | Portata 1–2 m³/h | Filtro ad alta temperatura |
Atomizzazione dell'azoto | 160–180 | 0,8–1,2 MPa | granuli da 0,5–1 mm | Torre di atomizzazione |
V. Controllo di qualità e test
- Analisi delle impurità di traccia:
- GD-MS (spettrometria di massa a scarica luminescente): Rileva metalli a ≤0,01 ppb.
- Analizzatore TOC: Misura il carbonio organico ≤0,001 ppm.
- Controllo delle dimensioni delle particelle:
La diffrazione laser (Mastersizer 3000) garantisce una deviazione D50 ≤±0,05 mm. - Pulizia delle superfici:
L'XPS (spettroscopia fotoelettronica a raggi X) conferma che lo spessore dell'ossido superficiale è ≤1 nm.
VI. Sicurezza e progettazione ambientale
- Prevenzione delle esplosioni:
I rilevatori di fiamma a infrarossi e i sistemi di allagamento con azoto mantengono i livelli di ossigeno <3% - Controllo delle emissioni:
- Gas acidi: Il lavaggio con NaOH a due stadi (20% + 10%) rimuove ≥99,9% di H₂S/SO₂.
- COV: Il rotore in zeolite + RTO (850°C) riduce gli idrocarburi non metanici a ≤10 mg/m³.
- Riciclaggio dei rifiuti:
La riduzione ad alta temperatura (1200°C) recupera i metalli; contenuto di zolfo residuo <0,1%.
VII. Metriche tecnico-economiche
- Consumo energetico: 800–1200 kWh di elettricità e 2–3 tonnellate di vapore per tonnellata di zolfo 6N.
- Prodotto: Recupero dello zolfo ≥85%, tasso di residuo <1,5%.
- Costo: Costo di produzione ~120.000–180.000 CNY/tonnellata; prezzo di mercato 250.000–350.000 CNY/tonnellata (qualità semiconduttore).
Questo processo produce zolfo 6N per fotoresist semiconduttori, substrati composti III-V e altre applicazioni avanzate. Il monitoraggio in tempo reale (ad esempio, analisi elementare LIBS) e la calibrazione in camera bianca ISO Classe 1 garantiscono una qualità costante.
Note a piè di pagina
- Riferimento 2: Standard di purificazione dello zolfo industriale
- Riferimento 3: Tecniche di filtrazione avanzate nell'ingegneria chimica
- Riferimento 6: Manuale di lavorazione dei materiali ad alta purezza
- Riferimento 8: Protocolli di produzione chimica di grado semiconduttore
- Riferimento 5: Ottimizzazione della distillazione sotto vuoto
Data di pubblicazione: 02-04-2025